★ 各种规格3D TSV8英寸、12英寸晶圆整体检测；
★ 可在MAPPING图任意确定5个检查区域，实现抽检功能；
★ 中文操作简易且运行稳定可靠的软件系统；
★ X、Y均采用伺服电机，双层直线导轨工作台和滚珠丝杆结构；
★ 独特的工作台悬浮设计方案，保证设备运行精度及长期稳定性。