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全自动倒装焊片机
编号:LDFCB-21
★ 倒装芯片键合控制系统采用计算机控制的伺服电机系统,运用超声热压 / 热压两种倒装焊接方式;
★ 高速焊片:倒装粘片速度可高达0.5~1sec / 颗;
★ 高精度焊片:倒装粘片精度可达到±3~7μm / 3σ;
★ 优越的结构设计,并采用图像识别和自动寻位、θ角度修正技术,自动送料、收料;
★ 采用计算机控制,全中文操作界面,更精确、方便操作;
★ 可适应各种产品:LED、CMOS 传感器、SAW声表滤波器、RF模组、IC。

1.系统功能

4.传送方式

 

装片方式

芯片正面朝下倒装

装载方式

机械推进式

粘片(焊接)方式

超声热压 / 热压

运送方式

直线传送式

粘片精度

±3 ~ 7μm / 3σ

5.体积及重量

生产速度(UPH)

0.5 ~ 1 sec / 颗
3500 ~ 7000 颗 / 小时

1450 × 1150 × 2150mm
1300 kg

压力范围

25 ~ 200 N

适用产品

LED、CMOS 传感器、
SAW声表滤波器、RF模组、IC

6.运行要求

 

适应吸嘴

钢嘴、塑胶和橡胶

电压

AC-220V

2.Wafer X-Y-θ工作台

频率

50Hz

芯片

压缩空气

0.4 ~ 0.6Mpa

Wafer 尺寸

4 ~ 12″英吋、淬盘或可定制

真空负压

≤80Kpa

chip 尺寸

0.3×0.3×0.1 ~ 15×15×0.1mm

功率消耗

1000W

陶瓷基板尺寸

50×50×0.3 ~ 180×120×0.3mm

7.机器特征

工作台

预热焊接加热台

最大行程

8″× 8″

超声波检查

分辩率

0.02mil(0.5μm)

/锡球坍塌高度测量

重复率

±0.02mil(±0.5μm)

晶圆θ方向修正

3.图像识别系统

凸块缺失、不良芯片标识检测

图像识别

256级灰度

自动/半自动清洗吸嘴

分辩率

1280×1024像素

吸嘴堵塞监测

图像识别精度

0.025mil(0.5μm) ~ 2.5mil(50μm)规测范围

自动粘片数据计数

SECS-GEM

 

脚注信息
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